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纳米材料

  • 材料化学进展

    材料化学进展

    PDF扫描版 / 華東理工大学出版社 / 2010-09 / 材料化学进展是一本专注于材料化学领域最新研究成果的书籍。书中详细介绍了材料化学的基础理论、实验方法以及在实际应用中的最新进展。
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  • 纳米集成电路制造工艺(第2版)

    纳米集成电路制造工艺(第2版)

    EPUB / 张汝京 / 清华大学出版社 / 2017-01-01 / 本书共19章,涵盖先进集成电路工艺的发展史,集成电路制造流程、介电薄膜、金属化、光刻、刻蚀、表面清洁与湿法刻蚀、掺杂、化学机械平坦化,器件参数与工艺相关性,DFM(Design for Manufacturing),集成电路检测与分析、集成电路的可靠性,生产控制,良率提升,芯片测试与芯片封装等内容。 再版时加强了半导体器件方面…
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